Focused Ion Beam Microscopes (FIB).
HITACHI hat sich als weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von anspruchsvollen, fortschrittlichen und hochwertigen Elektronenmikroskopen bewährt. Dazu gehören auch hochpräzise Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskope (FIB-SEM) mit Echtzeit-SEM-Darstellung.
NX 5000 "ETHOS"
Focused Ion and Electron Beam System & Triple Beam System
NX5000 "ETHOS" ist ein von Grund auf neu konzipiertes FIB-REM Kombigerät. Es zielt auf fortgeschrittene Anwendungen wie Querschnittanalysen, 3D Rekonstruktionen, etc. mit höchsten Ansprüchen ab und ist damit das Flagschiff der Hitachi FIB-REM Serien.
NX 9000
Focused Ion and Electron Beam System & Triple Beam System
Beim NX9000 stehen die FIB und FE-REM Säulen rechtwinklig zueinander (L-shape). Diese Konfiguration ist optimal für Anwendungen, wo große Volumina (biologische Gewebe, Materialien mit großen Kornstrukturen, Halbleiterbauelemente, etc.) verzerrungsfrei und mit höchster Auflösung in 3D untersucht werden sollen.