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IM5000 II und IM5000 II CTC

Beschleunigungsspannung von 100 V bis 8 kV

wählbar, für empfindliche Proben geeignet

 

Höchste Querschnitts-Abtragsrate

1mm/Stunde in Si, Maskenüberstand 100 my, Ionenenergie 8 keV, Schwingwinkel +/-30°

Querschnittsbreite einstellbar

bis 10mm akkurat nach Bedarf, bis 4mm im "air

protection" Betrieb

Hoher Bedienkomfort durch Touch Panel

Programmierung und Automatikfunktionen

​Optionales Softwarepaket

weitere Funktionalitäten

IM5000 erweitert die Querschnitts-Fähigkeiten der IM4000 II Serie durch eine verdoppelte Abtragsrate und die Möglichkeit, Querschnitte je nach aktuellem Bedarf auf bis zu 10 mm Breite zu erweitern. Dazu wird die Probe während des Querschneidens im zuvor registrierten Be-arbeitungsbereich periodisch unter stetem Verbleib im optimalen Fokus lateral verfahren. Optional ist auch das sequentielle Bearbeiten mehrerer Einzelposition mög-lich. IM5000 ermöglicht damit eine bessere Statistik von Schichtdickenmessungen über längere Distanzen, die zusammenhängende Darstellung größerer Bauelemente, sowie eine deutlich reduzierte Prozesszeit an Hartmate-rialien wie Stählen oder Keramiken.Mit dem IM5000 CTC sind auch Cryo-Querschnitte  variabler Breite bei definierbarer Prozesstemperatur bis herab zu -100 °C möglich.Luftempfindliche Proben können mit dem optionalen und nachrüstbaren („air protection”) Set unter Schutzgas ins IM geladen und von dort nach Prozessende unter Luft-ausschluß in ein REM oder AFM transferiert werden.

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