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IM4000 II und IM4000 II CTC

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IM4000 II ist ein modulares Computergesteuertes Argon-Ionen-Poliersystem, das je nach gewünschter Funktionali-tät als reiner Oberflächenpolierer, als Querschnittspolierer, oder als Hybridanlage ausrüsten werden kann. Mit einer in 100 V Schritten wählbaren Strahlenergie von 0.1 keV bis 6.0 keV lassen sich von feinsten Polituren bis zu größe-ren Querschnitten vielfältige Anwendungen abdecken. Im Querschnittsbetrieb erreicht IM4000 II dabei eine maximale Abtragsrate in Si von 500 µm / Stunde (6 keV, Überstand über die Maskenkante 100 µm, Bühnenschwingung ±30°). Funktionen wie Auto-Start / Zeitvorwahl, Intervallpolitur, oder zweistufige Prozesse sind verfügbar. Das IM4000 II CTC bietet im Querschnittsbetrieb die Mög-lichkeit für Prozesstemperaturen bis zu -100 °C. Luftempfindliche Proben lassen sich mit der „air protec-tion“ Funktion unter Luftabschluss handhaben.

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