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ZONE TEM II & ZONE SEM II

ZONE TEM II

 

5 Probenhalter

Zugang für bis zu 5 TEM Probenhalter (konfigurierbar)

 

Reinigungs- und Aufbewahrungsfunktion

Rezeptspeicher

ZONE SEM II

 

Probengröße

für Proben bis zu 100 mm Durchmesser und 37 mm Höhe

 

Reinigungs- und Aufbewahrungsfunktion

Rezeptspeicher

Typische Prozesszeiten 5-15 Minuten

 

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REM und STEM / TEM Nutzer kennen das Problem: Hoch-auflösendes Abbilden wird oft durch den raschen Aufbau eines Kohlenstoff-Films im Beobachtungsbereich beein-trächtigt (wenn nicht völlig unmöglich gemacht).Ursache sind zumeist gasförmige Kohlenwasserstoffe, die durch den Energieübertrag des Elektronenstrahls kontinu-ierlich während der Beobachtung abgeschieden werden.Quelle dieser Kohlenwasserstoffe kann ein nicht optimales Kammervakuum sein, was sich typischerweise mit Plasma-reinigern mit hohem Energieeintrag, oder auch sanfter mit Hitachi’s Excimer-Lichtquelle „Sparkle“, verbessern lässt. Zumeist jedoch sind die Beobachtungsobjekte und Pro-benhalter selbst die dominierende Kontaminationsquelle. Hier erweist sich häufig eine Plasma-Behandlung als zu grob im Sinne von probenverändernd oder gar zerstörend. Hitachi’s ZONE Reiniger für REM und TEM bieten auf der Grundlage von Ultraviolett-Licht und freien Sauerstoff-radikalen hier eine sanfte, clevere Alternative: Schnelle und gründliche Beseitigung störender Kohlenwasserstoffe mit gegenüber Plasmareinigern deutlich reduziertem Energie-eintrag.Die Probenreiniger der ZONE Produktfamilie sind mit UV Lampen von 185 nm und 254 nm Wellenlänge ausgerüs-tet, die zum einen typische Kohlenwasserstoff-Bindungen angreifen, zum anderen Sauerstoffmoleküle aufbrechen und in Form von Ozon reaktive Komponenten erzeugen. Die integrierte Membranpumpe erzeugt ein regelbares moderates Vakuum zwischen 13 und 67 kPa. Über den Kammerdruck lässt sich der Reinigungsmechanismus zwi-schen mehr oxidativ bzw. mehr physikalisch je nach Pro-benart optimieren.