Non-Evaporable Getter (NEG)

NEGs eignen sich ideal zur Leistungssteigerung einer Ionenpumpe, können aber auch als Einzelpumpe verwendet werden. Sie werden aufgrund ihrer kompakten Größe und der hohen H2-Pumpgeschwindigkeit bei UHV-Anwendungen eingesetzt.

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NEGs sind reaktive Metalle, die auf feste Substrate gepresst oder zu Scheiben gesintert wurden. Die Menge des verwendeten Materials steuert die Geschwindigkeit und Kapazität der NEG-Pumpe, liegt jedoch typischerweise im Bereich von 50 bis 3.500 l / s Wasserstoff. Wenn NEGs mit Gasen gesättigt sind, können sie reaktiviert werden, ohne dass sie in die Atmosphäre entweichen. Ihr Hauptvorteil ist ihre Fähigkeit, über längere Zeiträume ohne Strom zu pumpen