Titansublimationspumpen (TSPs) werden häufig in Kombination mit Ionenpumpen oder unabhängig voneinander verwendet, um reaktive Gase aus der Vakuumumgebung zu entfernen. In Kombination mit einer Ionenpumpe ermöglicht der TSP niedrige Enddrücke in kürzerer Zeit. Alle TSP-Komponenten sind bis 400 ° C einbrennbar. TSPs arbeiten durch Erhitzen eines Titanfilaments und Sublimieren (Umwandeln von festen in Gasphasen) von Titanmolekülen auf eine Oberfläche. Sublimierte Titanmoleküle stehen dann zur Verfügung, um mit reaktiven Gasen wie Sauerstoff und Stickstoff chemisch zu reagieren und Wasserstoff zu dissoziieren und zu diffundieren. TSPs können mit einem Druck von 10-5 bis 10-12 mbar betrieben werden und Pumpgeschwindigkeiten von mehr als 10.000 m3h-1 Wasserstoff aufweisen.