Titansublimationspumpen

> 10.000 m3 / h (H2) 

TSPs können mit einem Druck von 10-5 bis 10-12 mbar und ein Saugvermögen von mehr als 10.000 m³/h betrieben werden

 

einzeln oder in Kombination

kann unabhängig oder in Kombination mit Ionenpumpen verwendet werden

 

hohe Temperaturtoleranz 

Bis zu 250 ° C und sogar 450 ° C

 

Bis zu 400 ° C   

Alle TSP-Komponenten sind bis 400°C einbrennbar

Titansublimationspumpen (TSPs) werden häufig in Kombination mit Ionenpumpen oder unabhängig voneinander verwendet, um reaktive Gase aus der Vakuumumgebung zu entfernen. In Kombination mit einer Ionenpumpe ermöglicht der TSP niedrige Enddrücke in kürzerer Zeit. Alle TSP-Komponenten sind bis 400 ° C einbrennbar. TSPs arbeiten durch Erhitzen eines Titanfilaments und Sublimieren (Umwandeln von festen in Gasphasen) von Titanmolekülen auf eine Oberfläche. Sublimierte Titanmoleküle stehen dann zur Verfügung, um mit reaktiven Gasen wie Sauerstoff und Stickstoff chemisch zu reagieren und Wasserstoff zu dissoziieren und zu diffundieren. TSPs können mit einem Druck von 10-5 bis 10-12 mbar betrieben werden und Pumpgeschwindigkeiten von mehr als 10.000 m3h-1 Wasserstoff aufweisen.

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