Klauenpumpen.

 

Der Vorteil dieser trockenen Pumpen ist, dass keine Schmierung im Schöpfraum vorhanden ist.

 

Folgende EDWARDS VACUUM Produktserien sind in dieser Kategorie verfügbar:

 

• iXH-Serie

• GV-Serie (Drystar)

• EDC-Serie   NEU!

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Die iXH-Familie der trockenlaufenden Pumpen ist eine Weiterentwicklung der marktführenden iH-Produkte von Edwards und setzt neue Standards für die Eignung bei beanspruchenden Prozessen. Ihre Zuverlässigkeit bei Prozessen in vielen der Fertigungsanlagen für 300 mm-Halbleiter- und Flachbildschirmen der Welt hält die Betriebskosten niedrig.

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Die DRYSTAR 80 wurde für die Bewältigung großer Volumen an kondensierbaren Dämpfen und Partikelbelastungen entworfen und zeichnet sich durch eine konsistente Pumpleistung, minimale Wartungsarbeiten und niedrige Betriebskosten aus.  Dank der Trockenpumpentechnologie und der einzigartigen Dichtungsbauweise werden während des gesamten Vakuumprozesses Kontaminationen verhindert.

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Einfach, robust und effizient sind die Pumpen der neuen EDC-Serie. Die neue, trockene Klauenpumpe bietet Ihnen eine störungsfreie und kostengünstige Lösung. Sie zeichnet sich durch Langlebikeit und einfache und kostengünstige Wartung aus.